Rootori süsteem
Kuivvaakumpumba jõusüdamik on täpselt paigaldatud rootorikoost, mis koosneb tavaliselt kahest kuni kolmest spiraalsest või küünisekujulisest{0}}roorist. Need ülitäpsed-metallist rootorid haakuvad üksteisega mikroni-tasandi vahedega, kasutades gaasi sisselaskeavast väljalaskeava poole liikumiseks vastu-pööret. Rootorite ainulaadne profiilikujundus-, nagu tsirkulaarsed või ringikujulised profiilid-, määrab pumpamise efektiivsuse; pöörlemiskiirused võivad ulatuda 3000–6000 p/min ja üheastmeline tihendusaste võib ületada 10:1.
Tihendusstruktuur
Erinevalt õli{0}}tihendiga pumpadest säilitavad kuivpumbad vaakumi terviklikkuse tänu kolmekihilisele-tihendusmehhanismile.
Labürindi tihendid: rootori otstes asuvad mitmeastmelised käänulised kanalid kasutavad lekke blokeerimiseks õhuvoolu takistust.
Gaasitõke: Inertgaas süstitakse kriitilistesse vahedesse, et luua pneumaatiline rõhutõke.
Spetsiaalsed katted: Rootori pinnad on kaetud materjalidega nagu PEEK (polüeeterketoon), mis tagab nii kulumiskindluse kui ka vähendatud hõõrdeteguri.
Need konstruktsiooniomadused hoiavad lekkekiiruse alla 0,5 Pa·m³/s, täites seeläbi selliste tööstusharude, nagu pooljuhtide tootmine, rangetele puhtusnõuetele.
Jahutusmoodul: "Temperatuuri valvur" pidevaks tööks
Õlipõhise{0}}määrimise puudumise tõttu vajavad kuivpumbad intelligentset soojusjuhtimissüsteemi.
Õhkjahutus: tsentrifugaalventilaatoriga ühendatud alumiiniumisulamist soojuse hajutamise ribid hajutavad kuni 60% tekkivast soojusest.
Vesijahutus: sisemine vask{0}}toru vee tsirkulatsioonisilmus tagab soojusvahetuse efektiivsuse, mis on kolm korda suurem kui õhkjahutusel.
Faas-Jahutuse muutmine: teatud mudelid kasutavad soojustoru tehnoloogiat, mille soojusjuhtivus on kuni 100 korda suurem kui puhtal vasel.
